Mgr. Peter Klein, Ph.D.

výzkumný pracovník II – Depozice tenkých vrstev a nanostruktur

korespondenční adresa:
Kotlářská 267/2, 611 37 Brno

e‑mail:

sociální a akademické sítě:

Základní údaje

Druh

Počet publikací: 92

2015

Determination of titanium atom and ion densities in sputter deposition plasmas by optical emission spectroscopy

VAŠINA Petr FEKETE Matej HNILICA Jaroslav KLEIN Peter DOSOUDILOVÁ Lenka DVOŘÁK Pavel NAVRÁTIL Zdeněk

Článek v odborném periodiku

Plasma Sources Science and Technology, rok: 2015, ročník: 24, vydání: 6, DOI
Observation of cathode voltage and discharge current oscillations and spoke behaviour in HiPIMS

KLEIN Peter HNILICA Jaroslav HUBIČKA Zdeněk ČADA Martin VAŠINA Petr

Článek ve sborníku

Book of Contributed Papers, rok: 2015
Spoke induced cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS

KLEIN Peter HNILICA Jaroslav HUBIČKA Zdeněk ČADA Martin VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty
Spokes and cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS

HNILICA Jaroslav KLEIN Peter HUBIČKA Zdeněk ČADA Martin VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty

2014

Determination of sputtered species densities in a HIPIMS discharge by optical emission spectroscopy

VAŠINA Petr FEKETE Matej KLEIN Peter DOSOUDILOVÁ Lenka NAVRÁTIL Zdeněk HNILICA Jaroslav DVOŘÁK Pavel

Konferenční abstrakty

Rok: 2014, druh: Konferenční abstrakty
Determination of sputtered species densities in HIPIMS discharge by optical emission spectroscopy

FEKETE Matej VAŠINA Petr KLEIN Peter DOSOUDILOVÁ Lenka NAVRÁTIL Zdeněk HNILICA Jaroslav DVOŘÁK Pavel

Konferenční abstrakty

Rok: 2014, druh: Konferenční abstrakty
On periodic oscillations observed on cathode voltage and discharge current during HIPIMS process

KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2014, druh: Konferenční abstrakty

2013

Evolution of discharge current in high power impulse magnetron sputtering

FEKETE Matej VAŠINA Petr KLEIN Peter

Článek ve sborníku

PAPN 2013: Book of extended abstracts, rok: 2013
On sputtered particle distribution towards substrate during target erosion - simulation and experiment

KLEIN Peter VAŠINA Petr SCHMIDTOVÁ Tereza

Článek ve sborníku

PAPN 2013: Book of extended abstracts, rok: 2013
ON SPUTTERED PARTICLE DISTRIBUTION TOWARDS SUBSTRATE DURING TARGET EROSION - SIMULATION AND EXPERIMENT

KLEIN Peter VAŠINA Petr SCHMIDTOVÁ Tereza

Konferenční abstrakty

Rok: 2013, druh: Konferenční abstrakty